OTSUKA大塚電子OPTM-A3光學(xué)測量膜厚計塔瑪薩崎電子中國代理

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• **反射率測量
• 膜厚分析
• 光學(xué)常數(shù)分析（n：折射率，k：消光系數(shù)）

半導(dǎo)體晶體管通過控制電流來傳輸信號，并嵌入絕緣膜以絕緣晶體管，以防止電流泄漏和另一個晶體管的電流通過任意通道。 絕緣膜含有SiO₂使用（二氧化硅）和SiN（氮化硅）。 二氧化硅₂用作絕緣膜，SiN為SiO₂作為更高的介電常數(shù)絕緣膜或作為不必要的SiO₂在去除 CMP 時用作塞子，然后去除 SiN。 因此，必須測量這些薄膜厚度，以確保絕緣薄膜的性能和**的過程控制。

液晶顯示器一般具有右圖所示的結(jié)構(gòu)。 CF在一個像素處具有RGB，是一種非常高清的微圖案。 主流的CF成膜方法是將顏料基彩色抗蝕劑涂在玻璃的整個表面，通過光刻技術(shù)曝光和顯影圖像，每個RGB只留下圖案化部分。 此時，管理薄膜厚度值很重要，因為如果彩色抗蝕劑的厚度不是恒定的，則會導(dǎo)致圖案變形并作為濾色器的顏色變化。

近年來，使用具有各種功能的高性能薄膜的產(chǎn)品已經(jīng)變得司空見慣，并且根據(jù)用途，可能需要在薄膜表面具有摩擦，沖擊，耐熱和耐化學(xué)性等性能的保護(hù)膜。 通常形成硬涂層（HC）膜作為保護(hù)膜層，但是由于HC膜的厚度可能無法用作保護(hù)膜，可能會在薄膜上產(chǎn)生翹曲，或者可能導(dǎo)致外觀不均勻或變形，因此有必要控制HC層的厚度值。

ITO（氧化銦錫）是一種用于液晶顯示器的透明電極材料，在成膜后通過退火（熱處理）來提高導(dǎo)電性和色度。 那時，氧態(tài)和結(jié)晶度也會發(fā)生變化，但這種變化可能會隨著薄膜的厚度逐步改變斜率，并且不能將其視為具有光學(xué)均勻成分的單層薄膜。 對于這樣的 ITO，我們將介紹一個使用傾斜模型測量上下界面 nk 傾斜度的示例。

如果樣品表面有粗糙度，則可以將表面粗糙度建模為“粗糙度層”，其中大氣（空氣）和膜厚材料以1：1的比例混合以分析粗糙度和膜厚。 在這里，我們描述了一個測量表面粗糙度為幾納米的SiN（氮化硅）的示例。

干涉濾光片通過沉積膜厚和NK控制的膜，可以在指定的波長波段內(nèi)具有任意的反射率和透射率。 其中，*高精度的薄膜是通過多次重復(fù)薄膜作為高折射率層和低折射率層的一對（組）而形成的。 描述了使用超晶格模型測量和分析此類樣品的示例。

OLED材料對氧氣和濕氣敏感，在正常氣氛中可能會改變或損壞。 因此，成膜后，立即用玻璃密封。 描述了在密封時通過玻璃測量薄膜厚度的示例。 玻璃和中間空氣層采用非干涉層模型。

為了使用*小二乘法進(jìn)行擬合并分析薄膜厚度值（D），需要材料的NK。 如果 nk 未知，它將 d 和 nk 解析為變量參數(shù)。 但是，對于D為100nm或更小的超薄膜，D和NK無法分離，這會降低精度并且可能無法提供準(zhǔn)確的D。 在這種情況下，測量具有不同d的多個樣品，并假設(shè)nk相同，則執(zhí)行同時分析（多點相同分析）。 這使得準(zhǔn)確找到 nk 和** d 成為可能。

對于基板表面未反射的粗糙度較大的樣品，散射會降低測量的光，并使測量的反射率低于實際水平。 通過使用界面系數(shù)考慮基板表面反射率的降低，可以測量基板上薄膜的膜厚值。 例如，我們將描述一個測量發(fā)際線成品鋁基板上樹脂膜厚度的示例。

DLC（類金剛石碳）是一種無定形碳基材料。 它具有高硬度、低摩擦系數(shù)、耐磨性、電絕緣性、高阻隔性、表面改性和與其他材料的親和力提高等特點，并用于各種應(yīng)用。 近年來，根據(jù)每種應(yīng)用對薄膜厚度測量的需求不斷增加。
DLC厚度測量通常通過破壞性檢查進(jìn)行，其中制備監(jiān)視器樣品并用電子顯微鏡觀察樣品的橫截面，但大冢電子采用的光學(xué)干涉膜測厚儀可以無損高速測量。 通過改變測量波長范圍，可以測量從超薄膜到超厚薄膜的各種薄膜厚度。
通過采用獨特的顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)，可以實際測量形狀的樣品而不是監(jiān)視器樣品。 此外，通過在用監(jiān)視器檢查測量位置的同時進(jìn)行測量，可用于分析異常原因。
我們?yōu)楦鞣N形狀提供定制的傾斜和旋轉(zhuǎn)平臺。 可以測量實際樣品中的任何多個位置。
對于光學(xué)干涉膜厚系統(tǒng)的弱點，除非知道材料的光學(xué)常數(shù)（NK），否則無法進(jìn)行準(zhǔn)確的膜厚測量的問題，通過使用我們**的分析方法同時分析預(yù)先制備的多個不同厚度的樣品，可以獲得比傳統(tǒng)方法更高的NK：多點分析。
通過使用NIST（美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院）認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn)來保證可追溯性。

○ 齒輪 ○ 軸

■類金剛石薄膜厚度測量示例

代理品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測厚儀、偏光片檢測、納米粒度分析儀、ZATA電位儀、相位差膜·光學(xué)材料檢查設(shè)備、液晶層間隙量測設(shè)備等）、SANKO三高、NPM日脈、東機(jī)產(chǎn)業(yè)（粘度計）、CCS（視檢查光源）、Aitec（視檢查光源）、REVOX萊寶克斯（視檢查光源）、EYE巖崎（UV汞燈）、SEN 日森、SERIC索萊克、各類日本光源 索尼克（風(fēng)速計、流量計等）、坂口電熱（加熱器、制冷片）、NEWKON新光（針孔機(jī)）、NS精密科學(xué)（柱塞泵、高壓耐腐蝕防爆泵）   、SIBATA柴田科學(xué)、SAKURAI櫻井

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