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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
156mm 方形/小時(shí) 1500 張吞吐量
? 通過采用 SiC 托盤解決重金屬污染問題，
以及通過改進(jìn)托盤支架進(jìn)行背面旋轉(zhuǎn)措施
氣相沉積設(shè)備
詳情介紹：
特點(diǎn)
超大規(guī)模生產(chǎn)設(shè)備可
運(yùn)輸 156mmx156mm 方形基板和 125mm x 125mm 方形基板，以滿足太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)需求。
為了實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，我們開發(fā)了專用分配頭，并開發(fā)了雙臂輸送機(jī)構(gòu)，
以實(shí)現(xiàn)超高速輸送。 此外，還增加了新的燈加熱機(jī)制，以獲得
超高速和晶圓溫度均勻性。
我們開發(fā)了特殊的晶圓支架，可有效地加熱到太陽(yáng)能電池的薄晶圓上。
卸載機(jī)部分采用多級(jí)伯努伊夾頭，將晶圓和托盤分開，并
具有冷卻功能。
性能
| 薄膜厚度均勻性 | ≦±10% | |||||||||||||||||
| 支持的晶圓尺寸 | 156mm 方形，126mm 方形 | |||||||||||||||||
| 氣體種類 | SiH4, O2, PH3, B2H6, N2 | |||||||||||||||||
| 沉積溫度 | ～430℃ | |||||||||||||||||
| 生產(chǎn)力 | 1500 張/小時(shí) | |||||||||||||||||
主要規(guī)格
| 設(shè)備尺寸 | 1860mm(W) x 5900mm(D) x 2100mm(H) | |||||||||||||||||
| 加熱機(jī)構(gòu) | 電阻加熱和燈加熱 | |||||||||||||||||
| 卸載 | 加載： 夾緊， 卸載： 伯努伊恰克 | |||||||||||||||||
|
分散頭 （氣體噴嘴） |
A63 長(zhǎng)頭（*多可添加 3 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)頭和 5 個(gè)頭） | |||||||||||||||||
常州代理WATANABE渡邊用于太陽(yáng)能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S
昆山代理WATANABE渡邊用于太陽(yáng)能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S
無(wú)錫代理WATANABE渡邊用于太陽(yáng)能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S
南京代理WATANABE渡邊用于太陽(yáng)能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S
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